루츠 진공 펌프의 작동 원리

루츠 진공 펌프반대 방향으로 동시에 회전하는 두 개의 블레이드 모양의 로터가 장착된 가변 용량 진공 펌프를 말합니다. 로터 사이와 로터와 펌프 케이싱의 내벽 사이에는 작은 간격이 있지만 서로 접촉되지 않습니다. 간격은 일반적으로 0.1~0.8mm입니다. 오일 윤활이 필요하지 않습니다. 로터 프로파일에는 호선, 나선형 선 및 사이클로이드가 포함됩니다. 인벌류트 로터 펌프는 체적 이용률이 높고 가공 정밀도 확보가 용이하여 로터 프로파일이 대부분 인벌류트형입니다.

A의 작동 원리루츠 진공 펌프루츠 블로워(Roots Blower)와 유사합니다. 로터의 지속적인 회전으로 인해 펌핑된 가스는 공기 흡입구에서 로터와 펌프 쉘 사이의 공간(v0)으로 흡입된 다음 배기 포트를 통해 배출됩니다. 흡입 후 v0 공간이 완전히 닫히므로 펌프실 내 가스의 압축이나 팽창이 발생하지 않습니다. 그러나 로터의 상단이 배기 포트 가장자리를 중심으로 회전하고 v0 공간이 배기 측에 연결되면 배기 측의 더 높은 가스 압력으로 인해 일부 가스가 v0 공간으로 다시 돌진하여 가스 압력이 갑자기 증가합니다. 로터가 계속 회전하면서 가스가 펌프에서 배출됩니다.